螺桿真空泵冷卻凈化的目的是冷卻螺桿和泵體。在泵的運行期間，冷卻凈化要求給帶有壓縮熱的排放氣體降溫。
工藝氣體從進氣口吸入，被旋轉的螺桿壓縮并傳送到排氣口。過程中所產生的壓縮熱使工藝氣體溫度上升。工藝氣體上升的溫度需要使用冷卻凈化。通常冷卻凈化氣體為空氣，除非根據系統的其它氣體。同時，為了冷卻凈化在泵體上靠近排氣端的地方設置了接口。
清洗凈化是在停泵前清潔泵腔。在停泵前，關閉泵進氣管路上的主閥，注入氮氣，蒸汽或清潔空氣20到30分鐘，為了把粘性的工藝材料或工藝氣體從泵的內表面上清理下來。
當抽有腐蝕性的或有毒的氣體，或像樹脂一樣有粘性的材料時，本操作就顯得尤其重要。當泵每次工藝過程結束后，關閉進氣口主閥，無負載運行真空泵10-20分鐘（干運行，清洗凈化）。螺桿真空泵是消除或清洗在抽氣過程中積聚在泵腔內的工藝氣體或可凝性蒸汽。這些殘留在泵腔內的工藝材料是導致泵重新起動時發生過載的罪魁禍首。
同樣，當一段時間處于關閉狀態的泵重新開啟時，這些殘留的工藝材料會導致泵卡死或過載。在這種情況下，應沖洗蒸汽注入泵腔后再起動螺桿真空泵。
